[반도체 기초] 펠리클이란?

안녕하세요. 오늘 소개해드릴 반도체 기초 지식은 펠리클(Pellicle) 입니다.

사실 얼마 전에 친구가 ASML을 면접 보면서 EUV 광원 렌즈? 세척 관련 질문을 하더라고요.

사실 저도 잘 모르지만.... 모든 잡다한 일을 다 하는 TD에 맞게 잡다한 지식을 알려주었습니다.

마침 저희가 사용하는 MASK가 RBI FAIL이 발생해서 좀 공부를 한게 도움이 되었는데요. 관련 공부를 하다가 보니 펠리클이라는게 있었습니다.

펠리클은 광원이나 마스크와 같이 PHOTO 공정에서 자주 등장하는 주제는 아닌데요. 하지만 실제로는 반도체 수율과 직결되는 매우 중요한 부품이라고 할 수 있습니다.

특히 미세공정으로 갈수록 작은 먼지 하나도 치명적인 결함이 될 수 있기 때문에, 펠리클의 중요성은 점점 더 커지고 있는 상황인데요. 오늘은 펠리클이 무엇인지, 왜 필요한지, 어떤 원리로 동작하는지, 그리고 최근 왜 더 주목받고 있는지에 대해서 알아보도록 하겠습니다.

펠리클이란? 펠리클은 아주 간단하게 말...