[반도체 기초]ETCH 공정이란?

안녕하세요. 이전에 포에클에 대해서 간단하게 언급을 한 적이 있는데요.

포에클... PHOTO 공정, ETCH 공정, CLN 공정을 말하는 단어인데요.

반도체 지옥의 삼인방입니다. 오늘은 그중에서 ETCH 공정을 알아보려고하는데요.

ETCH 공정은 어렵기는 하지만 반도체 공정의 핵심이라고 부를 수 있기 때문에 이번 글을 통해서 꼭 알아가시는 것을 추천드립니다. ETCH 공정이란?

ETCH 공정은 무엇일까요? 말 그대로 해석하면 “깎는 공정”인데요.

그냥 깎기만한다면 어렵다고 표현을 안했겠죠? 반도체 공정에서 ETCH 공정은 원하는 부분만 "선택적"으로 제거해 회로 패턴을 실제 구조로 만드는 과정을 뜻합니다.

보다 자세히는 웨이퍼 위에 여러 막을 쌓고, 그 위에 PHOTO 공정을 통해 패턴을 만든 뒤, 그 패턴을 기준으로 아래 막을 깎아 구조를 만들어갑니다. 즉, PHOTO 공정이 “그림을 그리는 단계”라면, ETCH 공정은 그 그림을 실제 형상으로 바꾸는 단계라고 볼 수 있는데요. ...