[반도체 기초] 임플란트 공정이란?

안녕하세요. 반도체의 다양한 공정을 소개시켜드렸는데요.

그중에 DIFF 공정 기억하시나요? 디퓨전 공정을 설명하면서 임플란트 공정에 대해서도 소개를 드렸었는데요.

IMPLANT 무엇이 떠오르시나요? 이빨이 생각나시죠?

저도 삼성전자에 들어오기 전에는 그렇게 생각을 했을겁니다. 하지만 반도체에 대해서 조금이라도 공부를 하셨다면 이온 주입 공정이라고 생각을 하셔야 하는데요.

Si이 반도체가 될 수 있게 만들어준 공정이기 때문입니다. 이러한 반도체적 특성을 살리는 것 외에도 전도체적인 특징을 만드는 역활을 하기도 하는데요.

Si의 변화를 만들어내는 일플란트 공정에 대해서 알아보도록 하겠습니다. 1. 임플란트 공정이란 무엇인가?

반도체 공정에서 말하는 임플란트 공정은 치과 임플란트가 아니라, 이온 주입 공정(Ion Implantation)을 의미합니다. 쉽게 말하면 실리콘 웨이퍼 안에 원하는 불순물 원자를 강제로 넣어, 특정 영역을 p형 또는 n형 반도체로 만드는 공정인데요.

일반적으로 반...