SECS/GEM 계열은 크게 GEM200(SECS/GEM) 과 GEM300 으로만 끝나는 것이 아니라, 반도체 장비–FAB 통신/자동화를 위해 여러 “계열/카테고리”의 표준들이 존재합니다. 아래는 현장에서 실제로 쓰이는 SECS/GEM 기반 표준들의 전체 큰 분류입니다.
SECS/GEM 계열의 주요 “종류(카테고리)” 정리 1) SECS-I / HSMS (물리적 통신 규약) SECS/GEM이 어떤 네트워크 위에서 동작하는지 정하는 계층. SECS-I (E4) RS-232 기반의 가장 기본적인 통신 요즘은 거의 사용 X (속도 문제) HSMS (E37) TCP/IP 기반 SECS 통신 현대 장비의 99%가 HSMS-SS를 사용 2) SECS-II (E5) — 메시지 구조 SECS 메시지를 정의하는 “언어/문법”.
S1~S99의 고정된 스트림/펑션 구조 장비 상태, 이벤트, 알람, 변수 보고, 파일전송 등 모든 메시지 포맷 포함 SECS/GEM, GEM300, EDA 모두 SECS-...
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