OHT, Stoker, Conveyor, EFEM 반도체 물류 자동화 설비 정리

※ 반도체 자동화 물류 설비 : OHT, Stocker, Conveyor, EFEM 설비 OHT System 설비 (Overhead Hoist Transport System) 설명: 공중에 설치된 레일을 따라 FOUP(웨이퍼 보관용기)를 운반하는 자동 이송 시스템입니다. 기능: FOUP을 스톡커, EFEM, 또는 다른 장비로 자동 운반함.

위치: 그림의 상단, 천장 레일을 따라 움직이는 OHT 차량과 FOUP이 연결되어 있음. 특징: 생산 라인 간의 물류 흐름을 원활하게 하며 공간 활용도를 높임.

Stoker System 설비 Stocker System 설비 설명: 웨이퍼가 담긴 FOUP을 자동 보관하고 필요 시 꺼내주는 고밀도 자동 창고. 기능: - FOUP 보관 / 회수 - 입출고 이력 관리 - N₂ 퍼지 기능 포함 가능 - 생산 공정 간의 물류 흐름 최적화 위치: OHT가 FOUP을 내려놓는 곳.

내부 로봇이 FOUP을 선반에 정리함. Conveyor System 설비 Conv...