자동광학 검사장비(AOI 검사기) l AOI 검사 뜻과 장비 원리

AOI 검사장비 뜻 AOI 검사기(자동 광학 검사기)는 (Automated Optical Inspection) 디스플레이나 이차전지 제조 공정에서 불량을 자동으로 식별하는 장비로 고해상도 카메라와 광학 시스템을 이용해 제품 표면이나 패턴의 결함을 검출합니다. [디스플레이용 AOI] 적용 공정: TFT Array 공정: 마스크 패턴이 정상적으로 형성되었는지 검사 CF (Color Filter): RGB 패턴, 이물, 스크래치 확인 Cell 공정 이후: 패널 전체 외관 결함 확인 모듈 공정: 조립 후 외관 및 터치 불량 등 검사 검사 항목: 선폭/간격 이상 이물질, 스크래치, 핀홀 배선 단락/단선 특징: 고해상도 카메라(수백만 화소) 라인 스캔 또는 에어리어 스캔 방식 머신비전 알고리즘 + 딥러닝 기반 불량 판별 [이차전지용 AOI] 적용 공정: 전극 공정: 코팅 불량, 파우더 들뜸 등 확인 노칭, 탭 형성: 정밀 치수 측정 및 손상 여부 적층/조립 공정: 정렬 불량, 오염, 파티클, ...