thermal evaporation

QD 소자를 제작하면 할 수록 층들이 깔끔해지는 게 보인다. 나의 소자에서 Cathode로 사용되는 Al은 PVD(물리적 증착)방식인 thermal evaporation를 이용한다. thermal에 shadow mask 이용하여 Al을 증착한다. thermal가 연구실에 들어온 지 5년은 훌쩍넘었으니(2018년 2월 26일 tmp 16997h로 미루어볼 때), 나사가 마모 되었다.

열번정도는 같은 보트(crucible이라고도 함)로 그대로 실험하다가, 사용하려고 보니까 나사가 안돌아갔다. 그 전에 보트 갈았던 사람은 내가 아니었기에 더 당황스러웠다.

얘가 왜이러니.. 일단 빼는 게 가장 큰 목적이므로, 나 혼자의 힘으로 펜치(Pincers)를 이용하여 빼려고 하였으나 안됐다.

다음날 출근하여 교수님께 요청하니 대학원생분께서 가로, 세로 방향으로 펜치를 이용하여 빼주셨다. 나사가 돌아가는 방향에 수직으로 하니까 더 잘 돌아갔던 것 같다.

마모된 나사를 재 사용할 순 없어서 임의적으로 ...