안녕하세요, 티디엘사이언스 입니다. 오늘은 에칭용액 및 이송조건에 맞는 용액을 찾아 보겠습니다.
-조건- 0.7~2.8ml/min 유체 : Si에칭액, KOH 18시간 이상 이송 1번 부터 풀어 볼까요? 유량이 워낙 작아서 syringe pump(시린지펌프) 혹은 peristaltic pump(튜빙펌프)를 사용 해야합니다. 3번의 18시간 이송해야한다는 조건을 맞춰보면 peristaltic pump(튜빙펌프)가 가장 좋아 보입니다.
저는 TDL-100T + YZ1513 조합을 추천 합니다^^ 가격도 저렴하면서 유속 표기 유량 보정도 가능합니다. 사용유량 Tubing Size #13 #14 #16 #25 #17 #18 ID(mm) 0.8 1.6 3.1 4.8 6.4 7.9 사용유량(mL/min) 0.06 ~ 36 0.21 ~ 130 0.8 ~ 480 1.7 ~ 1000 2.8 ~ 1700 3.8 ~ 2300 유량 범위를 보면 13번튜빙으로 사용하면 무리 없어 보입니다. 2.
Si 에칭...
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13
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마스터플렉스
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맥동펌프
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액체이송펌프
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정량정밀
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정량펌프
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정밀펌프
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튜브펌프
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튜빙펌프
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티디엘사이언스
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파메드
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페리스탈틱
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페리스탈틱펌프
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국산펌프
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14
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화학용액이송
원문 링크 : SiO2 Etching(엣칭) 용액 이송용 펌프
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