더미웨이퍼 사용용도 및 제품소개

이번에 소개드릴 제품은 반도체 공정에서 정품웨이퍼를 지키기 위해 자신을 희생시키는 더미웨이퍼를 소개 드리겠습니다. I 더미웨이퍼 란?

I Dummy wafer 의 Dummy의 뜻인 모조의 가짜인 이란 뜻으로, 정품 wafer가 아닌 제품을 말합니다. 외관상으로는 정품과 구별하기 힘드나, 포장상태에서 우선 진공 포장 상태가 아닙니다.

이에, 정품웨이퍼 보다 값이 저렴 합니다. I 제품사용용도 I - 정품이 아니다 보니, 정품 반도체 칩 생산용으로 쓰이지는 못합니다. - 정품웨이퍼 보호용으로 사용됩니다. - 반도체 장비 제작업체 및 기타 관련업체에서 Test 용도로 사용 됩니다.

반도체 8대공정중에, 더미웨이퍼는 2번 산화막 공정부분에서 사용됩니다. 1. 웨이퍼 제조 과정에서의 쓰임 산화과정에서 oxidation 가스로 인해 앞 부분의 웨이퍼들과 뒷부분의 웨이퍼들은 가운데 정렬된 웨이퍼 대비하여 균등하게 산화가 되지 않습니다.

이에, 앞 부분과 뒷 부분의 웨이퍼를 비교적 저렴한 더미웨이...

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