반도체 공정정리

나노종합기술원 연수를 시작하며 반도체 공정을 배우게 되었습니다. 이후 강의를 들으며 공정에 대한 기초지식을 함양하기 위해 다음과 같이 정리하였습니다.

아래의 글은 단순히 워드에 작성한 내용을 복붙했으므로 들여쓰기가 제대로 되지 않았음을 알림니다. PDF를 첨부하겠습니다.

(크기 관계로 분할됨) 첨부파일 반도체 공정 정리.zip 파일 다운로드 첨부파일 반도체 공정 정리.z01 파일 다운로드 목차: 1. 반도체란?

2. 웨이퍼 제조 공정 3.

사진 공정 4. 식각 공정 5.

증착 공정 6. 확산 공정 1.

확산 공정을 통한 이온주입 공정 2. 어닐링 공정 7.

이온주입 공정 8. 세정 공정 9.

평탄화 공정 10. 패키징 공정 11.

TMI 위 공정 순서는 나노종합기술원에서 배포된 나노 ∙ 반도체 이론 (상) (연수 14기)에 근거합니다. 1. 반도체란?

상온에서 전기를 전하는 전도율(전기전도도)이 도체와 부도체의 중간 정도이고, 열 및 전기 등의 에너지를 통해 전도성을 변화시킬 수 있는...