Short Channel Effect
Short Channel Effect(줄여서 SCE)는 MOSFET의 채널이 점점 작아지며 발생하는 효과들을 말합니다. 주원인은 바로 S/D과 substrate 사이에 형성되는 공핍 영역인데, 오늘은 왜 채널이 작아지면 SCE가 발생하는지, SCE에는 무엇이 있는지에 대해서 알아보도록 하겠습니다. SCE가 발생하는 이유 P형과 N형이 만나는 접합영역에서는 언제나 확산이 일어나며 공핍 영역이 생성됩니다. MOSFET에서도 S/D과 Substrate가 만나면 공핍 영역이 생성되고 공핍 영역의 폭은 도핑 농도에 따라 결정됩니다. 중요한 점은 Long Channel이든 Short Channel이든 동일한 도핑 농도를 가지면 동일한 폭의 공핍 영역이 형성된다는 점입니다. 따라서 채널이 좁아질수록 Source와 Drain의 공핍 영역이 가까워지며 여러 가지 문제가 발생하게 됩니다. (1) Vth Roll-off Vth Roll-off는 SCE로 인해 MOSFET의 Threshold Voltag