청주 SK하이닉스 공장에서 1일 오전 배관 연결 작업 중 화재가 발생해 유독 가스가 누출되면서 공장 내 직원 3600여 명이 대피하는 소동이 벌어졌다. 오전 10시 30분쯤 시작된 불은 6층 가스룸에서 발생했으며, 4캠퍼스의 M15 공장과 M15X 공장을 잇는 구역에서 불이 났다. 화재는 스프링클러가 작동하면서 곧바로 진화됐고 다행히 인체에 해로운 독성 가스의 확산은 가스룸 내부에 머물렀다고 전해졌다. 현장 측은 불소 계열 가스로 알려진 불소가 일부 누출돼 5ppm 가스가 검출됐다고 밝혔다.
화재 직후 소방당국은 이 지역의 안전을 확인한 뒤 인근 직원들을 대피시켰고, 이 가운데 7명이 병원으로 이송됐다. 다수의 대피자 가운데 심각한 부상자는 없는 것으로 알려졌으며, 인체 독성 가스의 확산은 제어된 상태로 기록됐다. SK하이닉스 측은 불은 곧 자체 진화됐고 생산 공정에는 큰 차질이 발생하지 않았다고 밝혔다.
이번 사건은 반도체 공정에서 사용되는 특수 가스 관리의 중요성을 다시 부각시켰다. 불소가스는 세정과 식각 공정에서 널리 쓰이지만 누출 시 인체에 위험하고 생산 현장의 안전 대책을 강화해야 하는 사안이다. 현장 관계자는 상황 종료 후 가스 누출 원인과 안전 대책에 대한 정밀 조사를 예고했다. 회사 측은 경찰과 소방 당국의 협조 아래 재발 방지를 위한 절차를 점검하고 필요 시 설비 보강에 나설 계획이다. 생산 차질은 없다고 하지만, 이번 사건은 공장 가동의 연속성과 안전 체계의 상시 점검 필요성을 다시 확인시켰다.
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